以色列检测设备公司Nova发布最新产品材料检测正成为设备发展的关键 – 推荐

2022年 11月 9日 13:39 • 资讯 • 阅读 300

2月17日，以色列计量/检测设备公司Nova宣布了其先进的全方位门 (GAA) 计量产品组合。为增强其市场领先的产品组合，公司正在推出多种先进的解决方案，这些解决方案具有独特的能力，可应对下一代逻辑器件的制造挑战。

Nova总裁兼首席执行官 Eitan Oppenhaim表示，“Nova丰富且差异化的产品组合旨在应对下一代设备制造的挑战。除了具有挑战性的设计之外，材料检测正成为设备发展越来越重要的关键，我们在这一领域的加大投资为我们的客户提供了独特的互补价值。我们市场领先的尺寸计量、突破性的材料计量组合以及最近增加的化学计量之间的协同作用进一步增强了这一点。”

根据公告，Nova 的补充产品使客户能够通过对几何尺寸、物理材料特性和化学分析的更广泛了解，更好地了解最复杂的半导体结构。整体解决方案已推向市场，并被主要客户用于稳定 GAA 工艺步骤并提高产量。

Nova 丰富的下一代产品组合包括：

Nova PRISM通过平台的光谱干涉 (SI) 技术在关键应用中实现卓越的计量性能。事实证明，SI 技术通过提供提高对弱目标参数的灵敏度的绝对相位信息，增加了当前传统光学 CD 方法无法获得的全新光谱信息维度，特别是新 GAA 设计规则中引入的复杂性所要求的。

Nova i570是 Nova 用于大批量制造的顶级性能集成计量平台，巩固了 Nova 在该领域的领导地位。该平台提高了小型结构和多层的整体在线测量能力。

Nova METRION 将 SIMS 技术带入大批量制造，在纳米片制造中材料沉积的关键步骤中，以前仅限于实验室环境的材料成分的深度剖面。制造商必须严格控制材料在单个纳米片上的浓度和均匀沉积。

Nova ELIPSON 采用先进的拉曼光谱技术进行光学材料计量 (OMM)，以快速、无损的方式提取芯片内结构的材料特性。ELIPSON 为下一代生产挑战提供多种解决方案，包括整个过程中的应变形成和缺陷测量。

Nova VERAFLEX IV是集成 X 射线荧光 (XRF) 的在线和芯片内 X 射线光电子能谱 (XPS) 的最新行业标准。VERAFLEX IV 通过生成业界最高的 X 射线通量和解决复杂结构所需的专有光学系统，对单层薄膜堆叠和掺杂剂浓度进行直接测量控制。

所有平台均由 Nova 的机器学习软件套件Nova FIT 2.0 统一，这是公司最新的机器学习解决方案，由先进的算法和最先进的计算层提供支持。

据了解，Nova（原名：Nova Measuring Instruments Ltd.）是一家全球集成流程控制计量系统设计商，开发商，以及生产商，该公司致力于设计，生产和销售用于半导体生产流程的计量系统。公司产品包括面向化学机械抛光薄膜测量，化学气相沉积应用，光学CD和MLT系统领域的计量系统。公司面向化学机械抛光流程控制的集成厚度监控系统使晶圆到晶圆的闭合回路控制成为可能。2021年8月2日，该公司将公司名由Alussa Energy Acquisition Corp.变更为NOVA LTD。